诺源

气柜GC/气瓶架GR主要应用于各种高纯气体，如腐蚀性，毒性，可燃性，惰性等气体使用的输送设备。可配置减压装置，自动切换，自动吹扫，真空发生器，终端过滤器，紧急切断，泄漏侦测，喷淋稀释，抽风故障报警，保温伴热，供应压力监测等自动安全装置，在气体供应过程中能够实现安全、稳定性的操作气体输送。分阀箱VMB/分阀盘VMP主要应用于为气源分流，适用于供应多支路用气设备，输送过程中不影响气源的纯度，气体流量、压力稳定。配置单支路气动阀可实现异常情况时支路紧急切断，同时不影响其他支路的正常送气，可降低对客户生产运行的影响。

主要应用于为各种电子级高纯化学品，如腐蚀性，毒性，可燃性等危险液态化学品的输送。其中化学品供应柜CDM配置风囊泵，稳压器，过滤器，气液分离器，具备自动切换，紧急切断，漏液侦测，负压故障报警，压力监测及与工艺机台信号联动。有机化学品系统配置自动灭火系统，UV/IR及高温切断联动等，使化学品在供应过程中有可靠的安全性、稳定性及自控功能等。

诺源为泛半导体行业客户提供非标订制设备，包括液态源气体输送设备、在线纯化设备、在线分析设备、工艺设备配套Gas box、专业功能电控柜等。

高纯气体输送设备

高纯化学品输送设备

客户定制化设备